研发成功只是第一步透镜的。光
度极大，但主要的拦路刻机的制造难虎一共有四条。第
微米级，绝大多数精极少数超高台光刻机数万个制造精度要求极高，一零件这密部一是精度精米。达到亚微米级，件精密零部要求到00纳米～200纳求的制造精度最少也是件的加工，要度需要达
根本做不到。人精度，以国内现行的加工技术，样高的
的磨不出精度只有力有时而穷，八级技工一剑的精神，也就算秉持着十年磨手工打磨最00微米的极高微米级，高精度仅能达到亚精密零件。不
研发的对于钢铁城来了最高过。说，这已经不是问题工厂精密零部件的加工要求的水平，完全达到了个自动车床、铣床、精度一百新多纳米列加工设备，均达到。实验磨床等一系别超高
第二个是高透光度的透镜。第
是光刻机的三个拦路虎，则行动部件。
光光源。芯一个，就是短波激最后
刻蚀。它的运动控制部片光刻，是通过工作台心的子系统。要刻变光刻聚焦，对度，又决定了产率，可，来改的移动机最核光刻胶进行定了光件优劣，直接决的精度，而移动速以说是光刻
工作台的最小移动距保证最佳的对焦调整移动。实离必须非是一个纳米一个纳米常小，最好，
不到这样的精度。中当然达际制作
。其300纳米。加上光实际只有以飞利浦最百五十纳米离新款的光刻机为例，它的最小移动距源波长，它的光刻效果，最小线宽达到了三
水也差距不大。也是同一他厂商平，有区别差不多
。制程能力当前国际最先进的光刻这就是机
谓一代设备，一代产品。所
最新的奔腾22处理器，采用的就米线宽的制程工艺。是350纳
到实验室，对李白云天进入？”莲道：“你们这边进度怎么样
非常顺利！”李莲给了他“个笑脸。她一
关键的工带领的小组，负责制造运动部件。光刻机最作台子中最重要的就是系统，其
普通导稳定悬浮导轨。轨，而是空气性，移动部分不是为了保证运动的
算太大。从制造难度来说，它不
无工精度，对才鸟枪换炮的钢铁城来说一点非是一两百纳米的加难度也没有。
力学知识，才能验算。偏出怎样需要的产品设计才会将气影稳定性的流对工作台计出满足工业因为导轨设计需要运用到非常高深的流体响降到最低，从而设机研制的拦路虎，还是之所以它会成为光刻
这一点，对白偏构成云天最不阻碍。
回顾》《制造史谁让他有！从
科研的角度来说，这时在旷野中代的其他人就好像盲人摸索。
绊倒，然会行的山路，亦或是可物高不还是崎岖难他们。只方究竟是悬崖，要很小心才不峰后还要努力分辨前的路上沟坎、障碍攀的山
有通过的空气流动、道路。但潺潺水声，他们才能花费大代价，找到一条前进巨
能走得通，某条，还是会中，他路是死路，者相互交走入死胡同，不得让他们不要再去尝试。即便如此，也许跟着回到起不又退点，重新寻找们也尽可能与其他探路水流、空气前行，告诉别人某条路可流信息别的途径。在这个过程
人步，都艰辛无比。但类文明每前进一
白云天不同。
路有着他就如同开了全图的玩完整的认知，绝对不面八方的道家，一落地，就对四会走错。决
不是寻路的过程，定他前进速度的，从来着怎样的交通工具。而是有
道路上看美丽的风景直走在正确的岔、更轻松，还有空看路，在地上捡到一点，一。他偶尔步入一个得更快可以不知道谁丢的钱。随后，他就可车，在接下来的路上骑以用这钱去买一辆自行
这样。其光刻机的制造就是
中途还要用人交换技术，。利益跟才能艰难地前行一步投入重金，请最他其他研究数年，光刻机巨头，需要好的研发设备，潜心发人员，用最优秀的研
需要。他然而白云天不
在一开始，就清楚地东西知道自己在做什么样的，如何去做。
够了，不需要试多少次做出来。这，就能将东西只要自己的技术
他科研人员对这时代的其是不公平的。但
这世界，从来没有公平！
打，这是永世落后就要挨不变的至理箴言！
上只。白云天从来不需要顾虑目标，他人的感受，他是根据自坚定地走在自己的路己的
易就做了出来。透镜、工作台很容
并且他还根据后世设计，对工作台，。当工作台做了巨大改动，将惯常的一个改为了双工作台
测量等前序工作。当那一个工作台完成个工作台则提光刻，两换位，立即就能进行个工作台一个工作台正另一前进行晶圆片更在进行光刻工序时，下一道光刻工序，极大换、定位、微调、地提升了光刻效率。
。毕光源部分，是唯一没有自造的
很容易买到制造难度长统并不是特别大。国一为35纳米上的供应商很多，全口的难度较大，竟汞灯只是光刻机光面禁止对华源，波，其出。白际市场
云天为了省事了一套。直接购买过国内，，也就没自造，而是通
改进。就但是他还是做了小幅
从而达幅是束波长进行一定度中的方式，对光到聚焦效果。的折射，镜浸入纯净液体用将目
在后世，这叫浸入式光源。
正行实验室研究阶段，尚现在各大光科技厂商既此技术，进未投入实用。在就
有完整的技术，浸入式光源又改进然白云天手里能小幅为光源聚焦，那又何不用？实
效果很好。际使用
束到了32纳米！米的光束波长被约术以后，34纳采用了浸入式光源技
比之英特尔纳米！技术，提升了近40使用的350纳米
自指导监督下，，光刻机的制造进度华新等人直接领作台子系统、光源松攻克。经最大的技术难点，一一被轻等导有李莲、工快得惊人，透镜、在白云天的亲
，顺利得让所有参双工位，最大晶元刻—其实就是逐步熟悉制做梦。完成过造就顺利建造造的技术人员感觉如在与制蚀尺寸为200的光刻机两个月的技术攻关—工艺，一台
就做好了“这？”当
试通过，白云信这个事天宣布光刻机研板合上，螺丝拧紧，对最后一块挡人还是不敢相光刻发成功，其他实，不由窃窃私语。连机通电系统测
下料到解决一总装，两个月就做出一台这时代最先进的光刻机……，制作出子系统到个个技术问题，再
这可能吗？就
时间吧。“练工，做一台出算国内光刻机来厂家，有现成图纸、熟也不止这点
解释。有，笑了笑没有知道了。”白行不行咱们试试不就云天看着众人表情
参与，两个月制受了。要他带着一种接造一台光刻机高端制造技术知识注入的新人亲自算什么
备，哪要得了两个月不是没有专用机！像床设
机出去。几十上百台光刻专门制造光刻机的asl，一年就要卖
这两月一台？
么慢的破产倒闭了！生产速度，早就
李莲亲自动手做板早就做好了这是白云天、，的，达到了限。掩钢铁城当前技术极光刻掩膜
一个，而膜并非只有是一套。光
步刻。的改变。逐可能就只有极微小，在硅晶漫长加工过元基片上序多达上百道的过程，一道工位的光刻胶，然后通沉积、离子注入等方式生成所刻是蚀掉需要加需的元器件、连线个工序，等不同部件工部
，经由数百道工序之后等各种光刻都只针对一道器件的裸晶片。由含了所有晶元体管、电阻、电容离破碎的，每一次，才会制造出一个包因此整个过程是支工序
准，误差不能超序的掩膜必须严格对道工几个纳米。否则就、注入不到正会出现错位，导致沉积于工序漫长，每一制造失败。可过确的位置，
想而知，掩膜版的精度要求是多么高。从
版上制成的掩膜，众到星星点点的人只能看点、和纵横交错的细线，根本不知道。最终出来的电路是怎样的
工序如此之长，当然不出结果。研可能马上就得
发成解散究人是能回到本来的岗位，继的研还究工作。研究工作要做，当白功，研制团队光刻机研续完成上面交代下来云天宣布虽然很好奇，但员他们有别的以后，他们也只
、李莲等人穿着服，眼看着一张亮晶晶面前护后，白云完成最后一的晶圆片一个月天道工序，小心翼翼摆放到一身。了他们连套防
片，还需要经片众平常所见过到的芯。切割、封装，才是大这还只是裸晶
在手中的晶过来。托工作，聚了都放下手头所期待的第一次试人则站在玻璃墙外，好奇地看着白云天小心得知众圆片。“，进了实验室，其等级较高的研究人研究人员们他的制完成，闻讯的员穿上连套防护服
名实道。“白总，验室副主任好奇地问这是什么集成电路？”一
处理器！”白呵呵地解开了“云天没有继一款续保密，笑谜底。
处理器！”所
沉稳的研究员中在这些性格动。骚眼睛一亮，有听到的人都，竟然发生了小小的
嘴八舌问都激动起来，忍不住算机那几位有资这就是我们要研发的计“难道格进入实验室的道。处七主任、副主任，所用的处理器？”
理器！国啊
研发尔的80，还以此为制了英特路，从最开始。内搞核心，ዸ在七十年代，就仿了几十年集成电微机就紧跟国外步伐，早了国产的长城0520
制的人家好，还是长城0520也好，都是仿设计。管是8080也可不
器一任何拿得出手的成绩。所块，国内就没有可以说，在处理
己的中国芯。可是喊声一款自己的处理器国内依然没有设计出再大，有有识之士都在，更遑论制造了。焦虑，都在呼吁要研发我们自
处理器依然是一，国产片空白！迄今为止
天用钢铁城自制的光刻机，制造出来的第一激动到无现批集成电在有人都自制。这路样以咋一听到白云品，就是处理器，所
是计的处理器，但能做！极大的成功肯出来，这就定不是自己设
“白总的声音都在颤抖。“，这是什么处理器？是奔腾旁边还是48？”，那位副主任，说话
都不是！”白云天心耸耸肩笑道。所情极好，逗趣地
望的表情。有人都露出失
本不敢奢望自制的光刻机能腾处理器就已经足以让他能制造出最新款他们根的奔腾2，，们兴奋不已。够做出早期的奔
若是不行，48也将就。可
连4来，那这光刻机来又有什8都做不么用。是出制造出
来奔腾梦想……”一位副腾会有的，未，总能将光刻机的制造精度提上关系，我们现在能做3吃，没，奔口一口地主任勉强笑着，安慰去以后我们慢慢改进2也不是有经验了，道。8也不错。现在我们“也好，饭总要一
的项目，们自制的8的光刻机！，比英！用它造出！”主持五万晶体管特尔最新白r还要高五十道：“我亲自来的这枚云天装不下去怎么可能造晶片，集成度是00万告诉你们，我光刻机，最小线宽达了，欢畅地笑到了0.3微米款的奔腾p一台只能制造3
“哇！”
“不可能吧！”
竟然比机，线宽“我们自制的光刻么可能？”英特尔的还要细，这怎
由通话的人都是一副震惊的表他一定他的话经是情，认为有听到器，传到实验室外，所说错了。习
电路。国人也能做出达惯了跟到、甚步亦趋，信，完全不敢相信，中卑和不自至超过欧美的集成他们已经有了小小的自在人家背后亦
芯片？器的集中的漏洞，立即叫了出，您刚才说这枚处理定不是奔腾pr，那它来。其是什么”有人发现“等等，白总是00万，那它肯成度了白云天话
人一听，也是迅速反应过来。白他
云天之前就说了，这集成度为00万，比片，然后又说它的芯是一枚奔腾pr还超出一筹。处理器
，哪还有什么集成度巨的处理器！他达到00万之可是奔腾pr就是最新款、最先进的处理器了
一定是在开玩笑。
怎么，又有些隐隐的是心中，不知道遗憾。，可所有人脸上一松
该多好啊……白如果是真的，那
到环视一圈，才放低音，它是我们自行它当然不是设计的华芯一号……云天微笑着，目人脸上一个个看过去奔腾pr量，轻声道“过护目罩，从”光透，直众
实验室内外已经一片沸腾，所有说什么。没等他说完，各人都涨红了脸，拼命想要
什么。种声音混杂，谁也听不清对方在说
在向白、手臂，想要用尽力气，扯着其他同僚的衣服拼命撕云天说什么。可是没人停嘴，他们
白计的处，颤声向他询问扶云天身边，一种主任、是努力相互搀：的样”“白总，真是我们自己设样子想要支撑不住子，可他们还副主任身体晃动，看器？理
答道。“是！”白云天笑容一敛，严肃地回
“这是的？”“真
真的！”是
的“您没骗我们，它真的是我们？”第一款国产处理器自己设计研发
“我没骗你们！”
严肃，一点笑容白云天表情从未有过的都没有。
国内研究所待半辈子的老研究员，忽“在他身前，几个曾在了大起来。然失声痛哭
终于，我终于看到了！”
没白活！”““这辈子，
我去死，也没有遗够了，够了，现在就是让憾了……”望
着一种痛哭流涕的老研下来。在究员们渐渐安究员，玻璃墙外面吵杂的研静
眼泪纵横。他们的脸上，同样是